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電離真空計
専用表示器(1CH)
多機能表示器(3CH)
NEW
熱陰極電離真空計＜TRI-10＞
◆特長・用途
■
金属センサ+制御回路+表示パネル」一体化による省スペースを実現。
■
圧力に応じてエミッション電流を自動切替、1.33×10
-7
〜6.66Pa×10
0
Paの
広範囲を精度良く測定。
■
圧力データの監視機能が充実、デジタル通信とアナログ出力を標準装備。
■
16種類のガス感度補正などの付加機能で、生産装置の自動化や
試験装置の操作簡略化が可能。
◆製品仕様
型式
TRI-10-N25Y
TRI-10-C70Y
測定方式
ホットカソードイオンゲージ
測定範囲
1.33×10
-7
〜6.66×10
0
Pa
精度
±15%（N2 Typical）
電源定格
DC20〜28V/13W（AC100Vアダプタはオプション品）
アナログ出力
DC0〜10V
デジタル通信
RS-485 2線式半二重
保護構造
IP40相当
適合規格
RoHS、CE
コネクタ形状
9P D-SUB（プラグ/レセプタクル）
セットポイント出力
1点 リレー接点出力
接ガス部材質
イットリアコートイリジウム、タングステン、タンタル、SUS316/304、ガラス、ニッケル
接続継手形状
NW25
ICF70
質量
390g
620g
外観寸法図
[PDF]
[DXF]
[PDF]
[DXF]
カタログPDF
カタログ
[PDF]
TRI-10を電源表示器(DGC-A12)に接続して使用する際には、電源表示器への電源供給とは別に、TRI-10への電源供給(DC20-28V)が必要となります。
専用表示器 (1CH) ＜DGC-A12＞
◆特長・用途
■
真空計トランスデューサTRシリーズ用の電源表示器です
■
トランスデューサからの圧力信号はデジタル通信で行いますので表示器での圧力変換誤差はありません
■
2点のセットポイント出力を標準装備
■
自動化に最適なRS-485デジタル通信を装備
■
表示器の電源電圧はAC100〜240V
※200V専用コネクタはオプション
■
コンパクトサイズ
（H48×W98×D130.65mm）
■
タイムリーな圧力モニタリングが可能
■
表示単位は「Pa」と「Pa/133.32」から任意で選択。
◆製品仕様
接続機種
TRシリーズ全機種
※TRI-10のみ別途電源（DC20-28V）供給が必要。
接続数：1点 接続コネクタ：D-SUB 9P
圧力表示範囲
接続TRと同等
測定チャンネル
1点
圧力表示部
７セグメントLED
表示桁数
７桁（仮数部：５桁 指数部：２桁）
圧力表示単位
Pa、kPa、Pa/133.32
トランスデューサ通信
RS-485通信（機種自動認識）
通信（サンプリング）周期
100msec
設定
前面キー入力プログラム方式
設定ファンクション：SP1〜2（＋、－の２点設定可能）
アナログ出力
圧力信号DC 0〜10V（負荷抵抗10kΩ以上）
上位リンク通信
RS485(2 線式半2 重), 通信設定選択式
外部出力
3点（セットポイント1,2、ステータス）
NPNオープンコレクタ出力（フォトカプラ絶縁）
定格 DC30V/50mA以下
外部入力
3点（Exit select、ACT_A、ACT_B ON/OFF）
電圧入力（フォトカプラ絶縁）
定格 DC24V ±10％、4.1ｍA Typ,
接続コネクタ
高密度D-SUB 15P
定格電源
AC100〜240V ±10％、50/60Hｚ MAX20VA
※200V専用コネクタはオプション
使用環境温度
5〜50℃ 保管時：-10〜65℃（非通電）
相対湿度
20〜90% RH(結露なきこと)
雰囲気
汚染度2
保護構造
IP40相当（パネル取付時）
適合規格
RoHS、LVD EN61010-1、EMC EN61326-1
外形寸法図
[PDF]
[DXF]
質量
約500g
NEW
多機能表示器 (3CH)＜DGC-A31＞
◆特長・用途
■
トランスデューサ型真空計を複数台（ＭＡＸ3台）接続可能
■
大気圧確認用の汎用圧力センサ（別売）が接続可能
■
カラー液晶ディスプレイの採用により視認性が飛躍的に向上
■
ガイド機能で簡単操作
■
多彩な外部出力を標準装備（セットポイント6点）
■
表示器の電源電圧はAC100〜240V
※200V専用コネクタはオプション
■
コンパクトサイズ
（H96×W96×D172mm）
◆製品仕様
接続台数
3台
接続機種
TRシリーズ全機種
※TRI-10のみ別途電源（DC20-28V）供給が必要。
対応圧力センサ
本機器CH3に下記仕様の圧力センサを接続可能
電源電圧 ：DC24V±10％
圧力信号 ：DC1～5V
測定レンジ：[真空圧] －100(101)、－10～0 kPaG
[連成圧] ±10、±100(101) kPaG
[正 圧] 0～10、100(101)、1000 kPaG
表示デバイス
カラーTFT液晶ディスプレイ
圧力表示
ピエゾ型隔膜真空計を接続する場合：小数表示形式
圧力センサを接続する場合：小数表示形式
その他トランスデューサを接続する場合：指数表示形式
仮数部2桁、3桁（任意設定）＋符号＋指数部1桁
圧力単位
Pa、kPa、kPaG、Pa/133.32（任意設定）
トランスデューサ通信
RS-485 2線式半二重 通信周期：200ms
周囲温度範囲
運転時：5～50℃ 保管時：-10～65℃
電源定格
AC100～240V ±10%、50/60Hz、30VA
アナログ出力
0～10V (負荷抵抗:10kΩ以上)
上位リンク通信
RS-485 2線式半二重または4線式全二重（通信設定選択式）
保護構造
IP40相当（パネル取付時）
適合規格
RoHS、CE
コネクタ形状
トランスデューサコネクタ：9Pin D-SUBレセプタクル
アクセサリコネクタ：高密度15P D-SUBレセプタクル
リモートI/Oコネクタ：25P D-SUBレセプタクル
セットポイント
6点(オープンコレクタ出力) 出力定格：DC30V 50mA
リモート入力
トランスデューサ制御信号入力（測定on-off、圧力調整など）
電圧入力（フォトカプラ絶縁）定格 DC24±10%、4.1mA
最大コード長
接続トランスデューサによる
外形寸法
W96mm×H96mm×D172mm
取付穴寸法
W92mm×H92mm
外形寸法図
[PDF]
[DXF]
質量
840g
電離真空計
IT-3DA
表示器はタイプ毎の専用器となるため、測定子の併用はできません。
◆特長・用途
■
簡単なキー操作
■
セットポイントは2点装備
■
レコーダ出力付
■
RS485/RS422Aシリアル通信を装備し、(オプション)1回線16台まで、
ホストコンピューターで制御及びデータ管理が行えFA化に対応
■
各種真空装置用
◆製品仕様
測定範囲
B-Aタイプ IT-3DA
9.9×10
-2
〜1.0×10
-7
Pa
シュルツタイプ IT-3DA
9.9×10
0
〜1.0×10
-3
Pa
サンプリング周期
100msec
外
部
出
力
セットポイント
2点
補助機能
ヒステリシス値、出力論理
定格
AC125V 0.3A 抵抗負荷
ステータス
AC125V 0.3A 抵抗負荷
REC OUT出力
フルレンジ DC 0〜5/0〜10V
使用温度
0〜40℃
外部入力
INT/EXT
FILAMENT ON/OFF
DEGAS ON/OFF
電源電圧
AC100〜240V 50/60Hz 100VA
測定子
IV-60（B-A）
SC-45（シュルツ）
標準付属品
測定子
：
IV-60（B-A)又は、SC-45（シュルツ）
いずれもф15接続
電源コード
：
3ｍ
測定コード
：
2ｍ
オプション
BCD出力
RS485/RS422A
プリンタ出力
測定子コード
[B-Aタイプ]5.10m
[シュルツタイプ]5・10ｍ
質量
本体
400ｇ
測定子
ガラス 90ｇ
外観寸法
[PDF]
[DXF]
パネルカット寸法
IT-L20P
◆特長・用途
■
大型指示計を採用したアナログ電離真空計
■
簡単操作
■
レコーダ出力付
■
圧力モニタ用
■
研究開発用
◆製品仕様
測定範囲
2.7×10
-1
〜1.3×10
-5
Pa
測定レンジ
1レンジ
REC OUT出力
フルレンジ DC 0〜10ｍV
フィラメント保護
4×10
-1
Pa以上でOFF
脱ガス方式
電子ボンバード方式
真空接続
ф15
使用温度
0〜40℃
電源電圧
AC100V 50/60Hz 40VA
質量
本体
3600ｇ
測定子
ガラス 60ｇ
外観寸法
[PDF]
[DXF]
パネルカット寸法
標準付属品
測定子
：
IV-2000（三極管）
電源コード
：
2ｍ
測定コード
：
2ｍ
オプション
測定コード
5・10ｍ
*外観・仕様については改善のため予告なく変更することがあります。
