真空技術を通じてさまざまな分野のニーズに応えてきたノウハウを糧にして、「点検・保全」「改善・改良」「修理」等、装置のトラブルやご要望に対しスピーディーにベストソリューションをご提供するためフィールドサービスをおこなっております。
他社装置、古い装置、古い設備、海外製装置でもご相談ください。工場内のレイアウト変更から装置移設後の立ち上げ作業まで対応いたします。
Maintenance
●現在の真空装置の状態を把握する ●装置の故障を未然に防ぐ ●装置をトラブルで停止させない
Repair
●真空配管の改造、真空容器(チャンバー)の改造 ●カーボンヒーターやメタルヒーターへの改造 ●古い装置の制御機器、電子機器の更新または最適化
Overhaul
●真空ポンプ/真空バルブ ●作動油(オイル)の交換 ●装置本体・炉体/排気系配管
電話/メールでお困り事をお聞かせいただければ、
お客様との打ち合わせを重ねながら、弊社にしかできないご提案をさせていただきます。
タイトル | 困りごと | 解決 |
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●経年使用で性能劣化し、更にオイルバックが増えてチャンバ内を汚染。 |
●油拡散ポンプからターボ分子ポンプに変更してオイルバックは解決、更には排気時間も短縮されました。 |
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●経年使用で劣化したので更新したいが、ポンプ選定や交換工事が不安。 |
●ポンプにあったインターロックとなり、安全に安心して連続稼動できるようになりました。 |
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●経年使用で性能劣化したので更新したいが、海外製でサポートが不安。 |
●専用レデューサを製作し、当社製ポンプを取付けたので、サポートの不安は解消されました。 |
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●生産中に突然真空が悪くなり、生産が止まってしまった |
●交換後は真空排気時間も元どうりに改善され、安心・安全な操業が可能となりました。 |
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●油回転ポンプのオイル交換をしたが、排気性能が回復しない。 |
●交換後、排気性能は回復しました。 |
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●電気部品が故障してるが部品が生産中止になっている。 |
●最短の工事日程で、生産計画に影響なく改造工事が行えました。 |
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●海外製の制御盤を改造したいが、メーカの対応が遅い。 |
●最短の工事日程で、生産計画に影響なく改造工事が行えました。 |
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●経年の使用により、メータリレー(製造中止品)の動作が不安定となった。 |
●サイズの異なる真空計を専用取付けプレートを制作して取付けました。 |
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●夜間や休日の操業時は、担当者が2時間毎の巡回監視を実施。 |
●重大警報が発報されると、全担当者の携帯電話へ通話とメールにて通報。 |
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●冷却水の流れが悪いのか、所々熱くなる場所がある。 |
●細い配管も適量が確保され、異常に熱くなる部分がなくなりました。 |