熱フィラメントCVD
製品情報【成膜装置・その他｜熱フィラメントCVD】
特長・用途・目的
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特長 ■熱フィラメントによる高硬度ダイヤモンド成膜の研究・開発に 用途 耐摩耗性向上、商品の長寿命化
センサー、工具目的 高硬度のダイヤモンド成膜 【カスタマイズ対応品：ご要望に合わせた様々なカタチをご提案します。】
カタログ（PDF）
標準仕様
| 加熱温度 | 2000℃（フィラメントヒーター温度を放射温度計にて測定） |
|---|---|
| 試料サイズ | 約100×100 t=3-10㎜ φ10-20×H30-50㎜ |
| 真空チャンバー | SUS 約φ600×H600 |
| 構造 | 水冷ジャケット構造真空チャンバ |
| 圧力測定器 | ピラニ真空計、隔膜真空計 |
| 真空排気系 | 油回転ポンプ GHP-240B |
| ガス導入系 | マスフローコントローラ2系統（H2用、CH4用） |
