特長 | ■ボイラー部は多段形構造となっており、低い蒸気圧オイルへと分溜をはかることにより高真空が容易に得られます ■噴射能力を高めたジェットの採用により大きな排気速度が得られます ■ジェットは組立方式となっています。トップノズルのボルト・ナットをゆるめることにより完全に分解でき各段ノズルの洗浄が容易にできます ■ヒータ交換が容易に行えます |
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用途 | ■各種小型~大型排気装置(電子顕微鏡、分析器、電子ビーム溶接機、冶金装置等) |
形式 | DPF-2Z |
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排気速度*1 L/s |
バッフルなし:125 |
到達圧力*2 Pa | 油グループA(ライオンS):バッフル付 7.5×10-5 油グループB(シリコンF-5):バッフル付 ×10-6 |
全負荷臨界背圧*3 Pa | 20 |
油逆流量 mg/cm2 min | バッフルなし:×10-2 水冷バッフル:×10-4 |
作動油*4グループA | 標準:ライオンS |
作動油*4グループB | シリコンF-5 |
油量 mL | 50 |
電源 V/ф | 100/1 |
電力 W | グループA:330 グループB:400 |
始動時間 min | 15 |
所要水量*5 L/min,at20ºC | 0.5 |
質量 kg | 4 |
形式 | DPF-3Z |
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排気速度*1 L/s |
バッフルなし:280 |
到達圧力*2 Pa | 油グループA(ライオンS):バッフル付 7.5×10-5 油グループB(シリコンF-5):バッフル付 ×10-6 |
全負荷臨界背圧*3 Pa | 20 |
油逆流量 mg/cm2 min | バッフルなし:×10-2 水冷バッフル:×10-4 |
作動油*4グループA | 標準:ライオンS |
作動油*4グループB | シリコンF-5 |
油量 mL | 100 |
電源 V/ф | 100/1 |
電力 W | グループA:500 グループB:650 |
始動時間 min | 20 |
所要水量*5 L/min,at20ºC | 1.0 |
質量 kg | 6 |
形式 | DPF-4Z |
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排気速度*1 L/s |
バッフルなし:380 |
到達圧力*2 Pa | 油グループA(ライオンS):バッフル付 7.5×10-5 油グループB(シリコンF-5):バッフル付 ×10-6 |
全負荷臨界背圧*3 Pa | 20 |
油逆流量 mg/cm2 min | バッフルなし:×10-2 水冷バッフル:×10-4 |
作動油*4グループA | 標準:ライオンS |
作動油*4グループB | シリコンF-5 |
油量 mL | 150 |
電源 V/ф | 100/1 |
電力 W | グループA:700 グループB:900 |
始動時間 min | 20 |
所要水量*5 L/min,at20ºC | 1.5 |
質量 kg | 8 |
形式 | DPF-6Z |
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排気速度*1 L/s |
バッフルなし:810 |
到達圧力*2 Pa | 油グループA(ライオンS):バッフル付 7.5×10-5 油グループB(シリコンF-5):バッフル付 ×10-6 |
全負荷臨界背圧*3 Pa | 15 |
油逆流量 mg/cm2 min | バッフルなし:×10-2 水冷バッフル:×10-4 |
作動油*4グループA | 標準:ライオンS |
作動油*4グループB | シリコンF-5 |
油量 mL | 340 |
電源 V/ф | 200/1 |
電力 W | グループA:1000 グループB:1300 |
始動時間 min | 20 |
所要水量*5 L/min,at20ºC | 3.0 |
質量 kg | 20 |
形式 | DPF-8Z |
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排気速度*1 L/s |
バッフルなし:1450 |
到達圧力*2 Pa | 油グループA(ライオンS):バッフル付 7.5×10-5 油グループB(シリコンF-5):バッフル付 ×10-6 |
全負荷臨界背圧*3 Pa | 15 |
油逆流量 mg/cm2 min | バッフルなし:×10-2 水冷バッフル:×10-4 |
作動油*4グループA | 標準:ライオンS |
作動油*4グループB | シリコンF-5 |
油量 mL | 500 |
電源 V/ф | 200/1 |
電力 W | グループA:1400 グループB:1800 |
始動時間 min | 25 |
所要水量*5 L/min,at20ºC | 4.0 |
質量 kg | 30 |
形式 | DPF-10Z |
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排気速度*1 L/s |
バッフルなし:2070 |
到達圧力*2 Pa | 油グループA(ライオンS):バッフル付 7.5×10-5 油グループB(シリコンF-5):バッフル付 ×10-6 |
全負荷臨界背圧*3 Pa | 15 |
油逆流量 mg/cm2 min | バッフルなし:×10-2 水冷バッフル:×10-4 |
作動油*4グループA | 標準:ライオンS |
作動油*4グループB | シリコンF-5 |
油量 mL | 820 |
電源 V/ф | 200/1 |
電力 W | グループA:1900 グループB:2500 |
始動時間 min | 25 |
所要水量*5 L/min,at20ºC | 5.0 |
質量 kg | 41 |
形式 | DPF-14Z |
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排気速度*1 L/s |
バッフルなし:3600 |
到達圧力*2 Pa | 油グループA(ライオンS):バッフル付 7.5×10-5 油グループB(シリコンF-5):バッフル付 ×10-6 |
全負荷臨界背圧*3 Pa | 15 |
油逆流量 mg/cm2 min | バッフルなし:×10-2 水冷バッフル:×10-4 |
作動油*4グループA | 標準:ライオンS |
作動油*4グループB | シリコンF-5 |
油量 mL | 1600 |
電源 V/ф | 200/3 |
電力 W | グループA:4500 グループB:6000 |
始動時間 min | 30 |
所要水量*5 L/min,at20ºC | 7.0 |
質量 kg | 120 |
*1:DPF-2Z~DPF-14Zの排気速度はJIS B 8317-1に準拠した測定値です。当社電離真空計にて測定。使用作動油:ライオンS
*2:到達圧力は当社電離真空計での測定です。使用作動油:ライオンS
*3:DPF-2Z~DPF-14Zの臨界背圧はJIS B 8317-2に準拠した測定値です。当社ピラニ真空計にて測定。使用作動油:ライオンS
*4:グループAの作動油はオプションとしてネオバッグSX、シリコンF-4を用意しております。
*5:油拡散ポンプの冷却水温は入口側10℃ 以上、出口側30℃ 以下にてご使用願います。
※DPF-14Zより大型のタイプについては当社営業窓口までお問い合わせください。
※外観・仕様につきましては改善のため予告なく変更する事があります。
※外観寸法図のダウンロードはこちらからお願いします。
・DPF-2Z[PDF] [DXF]
・DPF-3Z[PDF] [DXF]
・DPF-4Z[PDF] [DXF]
・DPF-6Z[PDF] [DXF]
・DPF-8Z[PDF] [DXF]
・DPF-10Z[PDF] [DXF]
・DPF-14Z[PDF] [DXF]