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真空バルブ 手動三方クランプバルブ

真空バルブ 手動三方クランプバルブ

製品情報【真空バルブ・真空部品|真空バルブ 手動三方クランプバルブ】

特長・用途・目的

真空バルブ 手動三方クランプバルブ
特長 ■バルブのデスクシールはシャフトによって押しつけられますので、ボールバルブのようにシール材の摩擦の心配がありません
■空気作動式三方バルブは粗引き、補助引き作動を3方電磁バルブ2ヶを介して圧縮空気によって開閉します。
■オプションにてリードスイッチを取り付ける事により、開閉位置検出が可能です
用途 ■各種真空ライン
カタログ(PDF)
型式 3W-25
呼び径

25

コンダクタンス[C-R間](L/s)

13

コンダクタンス[C-F間](L/s) 7
ボディ・シール部漏れ量(Pa・m3/s) 1.3×10-10以下
バルブシート面差圧(MPa) 0.1
A:ボディ B:シール部・材質 A:SUS 304 B:フッ素ゴム
ライフサイクル 10万回(常温時)
質量(kg) 2.5

型式 3W-40
呼び径

40

コンダクタンス[C-R間](L/s)

40

コンダクタンス[C-F間](L/s) 23
ボディ・シール部漏れ量(Pa・m3/s) 1.3×10-10以下
バルブシート面差圧(MPa) 0.1
A:ボディ B:シール部・材質 A:SUS 304 B:フッ素ゴム
ライフサイクル 10万回(常温時)
質量(kg) 4.8

※外観寸法図のダウンロードはこちらからお願いします。

・3W-25[PDF] [DXF]
・3W-40[PDF] [DXF]

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