特長 | ■5ポート2ポジション電磁バルブを介して圧縮 空気によって開閉する自動バルブです ■オプションにてリードスイッチ(電磁的にバルブの開閉位置を検知)の取付けができます |
---|---|
用途 | ■各種真空ライン |
型式 | LCAV-25 |
---|---|
呼び径 |
25 |
コンダクタンス(L/s) |
15 |
ボディ・シール部漏れ量(Pa・m3/s) | 1.3×10-10以下 |
バルブシート面差圧(MPa) | 0.1 |
A:ボディ B:シール部・材質 | A:SUS 304 B:フッ素ゴム |
圧縮空気圧力(MPa) | 0.29~0.49 |
ライフサイクル | 100万回(常温時) |
ベーキング温度(℃) | 70 |
エアーシリンダー容量(mL) | 15 |
質量(kg) | 1.2 |
型式 | LCAV-40 |
---|---|
呼び径 |
40 |
コンダクタンス(L/s) |
45 |
ボディ・シール部漏れ量(Pa・m3/s) | 1.3×10-10以下 |
バルブシート面差圧(MPa) | 0.1 |
A:ボディ B:シール部・材質 | A:SUS 304 B:フッ素ゴム |
圧縮空気圧力(MPa) | 0.29~0.49 |
ライフサイクル | 100万回(常温時) |
ベーキング温度(℃) | 70 |
エアーシリンダー容量(mL) | 30 |
質量(kg) | 2.0 |
型式 | LCAV-50 |
---|---|
呼び径 |
50 |
コンダクタンス(L/s) |
85 |
ボディ・シール部漏れ量(Pa・m3/s) | 1.3×10-10以下 |
バルブシート面差圧(MPa) | 0.1 |
A:ボディ B:シール部・材質 | A:SUS 304 B:フッ素ゴム |
圧縮空気圧力(MPa) | 0.29~0.49 |
ライフサイクル | 100万回(常温時) |
ベーキング温度(℃) | 70 |
エアーシリンダー容量(mL) | 40 |
質量(kg) | 2.5 |
※外観寸法図のダウンロードはこちらからお願いします。