特長 | ■未放電防止機能を追加しました ■お客様のご要望に応えD-SUBコネクタを新たに採用しました ■アナログ電圧出力が1→2種類選択できるようになりました ■セットポイント設定の分解能が仮数部1→2桁になりました |
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型式 | TRPC-21-N25(NW25)/TRPC-21-C70(ICF70) |
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測定方式 |
ピラニ:低温度方式 CCG:逆マグネトロン方式 |
圧力測定範囲 |
5.0×10-7〜大気圧 |
圧力分解能 |
仮数部(小数点以下2桁を含む3桁)+符号付指数部 |
精度 ※1 |
5.0×10-7~1.0×104:±30% 1.0×104~大気圧:±50% |
許容圧力 ※2 | 200kPa(絶対圧) |
周囲温度範囲 | 運転時:5~55℃ 保管時:-10~70℃ |
電源定格 | DC15〜30V/3W |
アナログ出力 |
アナログ出力設定:2種類から選択 ※3 0〜10V(負荷抵抗:10kΩ以上) 圧力[Pa]=10^(1.667×出力電圧[V]-9.33) |
デジタル通信 | RS-485 2線式半二重 |
保護構造 | IP40相当 |
適合規格 | RoHS10物質対応、CE |
コネクタ形状 | 9P D-SUB プラグ |
セットポイント | 2点(オープンコレクタ出力) 出力定格:DC30V 50mA |
機能 |
キャリブレーション(大気側、高真空側)、ピラニ単独測定モード |
接ガス部材質 | SUS304、Fe-Ni、W、ガラス、Mo、Al2O3、Kovar、フッ素ゴム |
接続継手形状 | NW25(標準)、ICF70(オプション) |
センサ内部容積 | 18㎤(NW25) / 26㎤(ICF70) |
最大コード長 | 30m(供給電源DC24V) |
外形寸法 |
φ65mm×111.5mm(NW25) φ70mm×126.8mm(ICF70) |
質量 | 705 g(NW25)/1010 g(ICF70) |
ベーキング温度 |
150℃(但しガスケットの最高使用温度に準ずる) 条件:回路ユニット、マグネット無し |
付属品 | コネクタ※4 |
オプション |
測定コード:CO-TRZ-05(コード長 標準5m ※5) 磁気シールド:MS-TR-1(接続継手形状NW25のみ装着可能) |
※外形寸法図のダウンロードはこちらからお願いします。