電離真空計 TRI-10
製品情報【真空計 TRシリーズ｜電離真空計 TRI-10】
特長・用途・目的
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カタログ（PDF）特長 ■金属センサ+制御回路+表示パネル」一体化による省スペースを実現。
■圧力に応じてエミッション電流を自動切替、1.33×10-7〜6.66Paの広範囲を精度良く測定。
■圧力データの監視機能が充実、デジタル通信とアナログ出力を標準装備。
■16種類のガス感度補正などの付加機能で、生産装置の自動化や試験装置の操作簡略化が可能。
ラインナップ
| 型式 | TRI-10-N25Y |
|---|---|
| 測定方式 |
ホットカソードイオンゲージ |
| 測定範囲 |
1.33×10-7〜6.66×100Pa |
| 精度 | ±15%（N2 Typical） |
| 電源定格 | DC20〜28V/13W（AC100Vアダプタはオプション品） |
| アナログ出力 | DC0〜10V |
| デジタル通信 | RS-485 2線式半二重 |
| 保護構造 | IP40相当 |
| 適合規格 | RoHS、CE |
| コネクタ形状 | 9P D-SUB（プラグ/レセプタクル） |
| セットポイント出力 | 1点 リレー接点出力 |
| 接ガス部材質 | イットリアコートイリジウム、タングステン、タンタル、SUS316/304、ガラス、ニッケル |
| 接続継手形状 | NW25 |
| 質量 | 390g |
| 型式 | TRI-10-C70Y |
|---|---|
| 測定方式 |
ホットカソードイオンゲージ |
| 測定範囲 |
1.33×10-7〜6.66×100Pa |
| 精度 | ±15%（N2 Typical） |
| 電源定格 | DC20〜28V/13W（AC100Vアダプタはオプション品） |
| アナログ出力 | DC0〜10V |
| デジタル通信 | RS-485 2線式半二重 |
| 保護構造 | IP40相当 |
| 適合規格 | RoHS、CE |
| コネクタ形状 | 9P D-SUB（プラグ/レセプタクル） |
| セットポイント出力 | 1点 リレー接点出力 |
| 接ガス部材質 | イットリアコートイリジウム、タングステン、タンタル、SUS316/304、ガラス、ニッケル |
| 接続継手形状 | ICF70 |
| 質量 | 620g |
TRI-10を電源表示器(DGC-A12)に接続して使用する際には、電源表示器への電源供給とは別に、TRI-10への電源供給(DC20-28V)が必要となります。
※外形寸法図のダウンロードはこちらからお願いします。
