真空機器／真空計測器／真空装置の製造・メンテナンス

真空計　TRシリーズ【製品一覧】

隔膜真空計　TRD-10-P12NC／TRD-10-P13NC

■圧力検出にピエゾ素子（拡散形半導体圧力センサ）を採用
■内部に対向電極が無いため、一般的な隔膜真空計に比べ外気圧変動による影響が小さい。
■センサチップ（補正抵抗）と温度測温補正による2段階補正により温度特性が向上（当社比）。
■接ガス部にSUS316Lを使用し耐腐食性を向上。

製品詳細情報

複合真空計　TRPC-21

■未放電防止機能を追加しました
■お客様のご要望に応えD-SUBコネクタを新たに採用しました
■アナログ電圧出力が１→２種類選択できるようになりました
■セットポイント設定の分解能が仮数部１→２桁になりました

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複合真空計　TRPC-10（ノーマルタイプ）／TRPC-20（長寿命タイプ）

■センサ＋制御回路一体化により低コストを実現
■1.0×10+5〜5.0×10^-7Paまでの広領域の測定が可能
■デジタル制御により滑らかな切替動作を実現
■装着・脱着がドライバーなしで行えるコネクタを採用し、コンパクトな一体型を実現
■2点のセットポイント出力を標準装備
■圧力に比例したDC0〜10V〔logリニア〕出力を標準装備
■自動化に最適なRS-485デジタル通信を標準装備（セットポイントの設定は外部通信でも測定子内蔵のスイッチのどちらからでも設定変更が可能です）
■DC24V（DC12〜30V）の 電源供給で動作が可能（表示器はAC100〜240V ※200V専用コネクタはオプション）
■広範囲測定が測定子１本で可能なため各種真空装置にも最適です
■簡単なクリーニングなら回路ユニットをはずさずに行えます

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ピラニ真空計　TRP-11／TRP-11SP

■5×10^-2Pa〜大気圧まで広範囲の圧力測定が可能
■デジタル回路により温度補正機能を格段に向上させ高精度を実現
■デジタル回路と独自のフィラメント構造により軽量・コンパクト化を実現
■圧力に比例するDC0〜10V（出力分解能14bit）を出力し、Logリニア出力により数式による圧力換算が可能
■トランスデューサTRP-11はDC12〜30Vの電源電圧で駆動し、表示器はAC100〜240Vの範囲で使用可能
■「センサ制御回路」一体化により電源表示器なしでの使用ができ、省スペースを実現。RS-485デジタル通信を標準装備し自動化にも最適
■ATM（大気圧）/VAC（高真空）の調整をプッシュスイッチで調整可能
■ステータスLED機能でセンサ状態の視認性が向上
■各種プロセスの圧力モニタリングに最適です
■TRP-11SP（オプション）はセットポイント2点を装備し、真空スイッチとして使用可能。セットポイントの設定も内蔵スイッチで簡単に設定

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ピラニ真空計　TRP-12／TRP-12SP

■お客様のご要望に応えD-SUBコネクタを新たに採用しました
■デジタル温度補正で高精度測定
■センサユニット交換が容易
■簡単ワンプッシュでATM/VAC調整
■アナログ電圧出力が１→２種類選択できるようになりました
■セットポイント設定の分解能が仮数部１→２桁になりました

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ピラニ真空計　TRP-31／TRP-31SP

■白金フィラメントを用いた耐腐食型ピラニ真空計
■お客様のご要望に応えD-SUBコネクタを新たに採用しました
■デジタル温度補正で高精度測定
■センサユニット交換が容易
■簡単ワンプッシュでATM/VAC調整
■アナログ電圧出力が１→２種類選択できるようになりました
■セットポイント設定の分解能が仮数部１→２桁になりました

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コールドカソード真空計　TRC-21

■逆マグネトロン型コールドカソード真空計
■測定レンジ：5.0×10^-7Pa～1Pa
■センサ保護機能
■圧力に比例した2種類のアナログ電圧出力
■RS-485インターフェース
■仮数部2桁設定可能なセットポイント2点
■簡易クリーニング

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電離真空計　TRI-10

■金属センサ+制御回路+表示パネル」一体化による省スペースを実現。
■圧力に応じてエミッション電流を自動切替、1.33×10^-7〜6.66Paの広範囲を精度良く測定。
■圧力データの監視機能が充実、デジタル通信とアナログ出力を標準装備。
■16種類のガス感度補正などの付加機能で、生産装置の自動化や試験装置の操作簡略化が可能。

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